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晶圓激光退火設備

LT200A 激光晶圓激光退火設備
制造商:中國(中科鐳特)
主要功能:晶圓激光退火

  •        LT200A 是一臺智能化的晶圓激光退火系統。主要應用于晶圓的熱處理工藝,包括晶圓合金化、注入退火和摻雜活化等。智能化體現在此系統配備圖像定位系統、自動對焦系統、溫度智能檢測、全自動上下料系統和常規應用的數據庫自動調用系統。

  • 技術特點

    高性能激光器

    激光器、光束質量好、穩定性好、單脈沖能量高。
    優化的光學系統

    光束整形,定制的平頂光斑提高退火溫度一致性和加工效率。
    完全自動執行

    機器視覺定位,精度高,無需人工干預,操作簡單,效率高。
    激光防護系統

    符合工業標準的激光防護結構,保證操作人員安全。

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